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sims[二次离子质谱]是什么 关于sims[二次离子质谱]的详细介绍

二次离子质谱(secondary ion mass spectroscopy),是一种非常灵敏的表面成份精密分析仪器,它是通过高能量的一次离子束轰击样品表面,使样品表面的分析吸收能量而从表面发生溅射产生二次粒子,通过质量分析器收集、分析这些二次离子,就可以得到关于样品表面信息的图谱。

原理

sims[二次离子质谱]

用一次离子束轰击表面,将样品表面的原子溅射出来成为带电的离子,然后飞行时间或者磁偏转质谱仪分析离子的荷/质比,便可知道表面的成份;

它是一种非常灵敏的 表面成份分析手段,对某些元素可达到ppm量级;但由于各种元素的二次离子差额值相差非常大,作 定量分析非常困难。

二次离子质谱仪,是最前沿的表面分析技术。二次离子质谱仪揭示了真正表面和近表面原子层的化学组成,其信息量也远远超过了简单的元素分析,可以用于鉴定有机成分的分子结构。二次离子质谱仪广泛应用于微电子技术、化学技术、纳米技术以及生命科学之中,它可以在数秒内对表面的局部区域进行扫描和分析,生成一个表面成分图。

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