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偏压电源介绍 了解偏压电源的详细内容

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作用

1)提高真空等离子体内带电粒子的能量,轰击清洗所镀工件表面,使工件表面经受高能粒子撞击后得到崭新的表层,从而提高后续沉积膜层的结合力

使用直流电源,电子方向始终统一,会导致单一种类电荷堆积过高与控制源中和。也就是说用来提供动力的正负极被中和了。然后磁控溅射将不再继续。所以采用脉冲电源。 真

2)提高并控制真空等离子体内带电粒子的能量,提高膜层与工件基体结合力

),简称为AC。交流电也称“交变电流”,简称“交流”。一般指大小和方向随时间作周期性变化的电压或电流。它的最基本的形式是正弦电流。 射频电源是等离子体配套电源,它

3)靠不同的电压输出极性或方式改变沉积规则,调整膜层颜色

会` 这你要咨询国内几家做中频,偏压电源的厂家

4)克服偏压电源工作于真空等离子体环境中,由高电压引起的阴极弧光放电烧伤工件

技术说明

空载就是不接负载。 空载的意义既不是断路也不是短路。 一个电路有输入有输出,一般空载的意义就是有输入而输出没有接负载,那么这个电路的输出相当于“断路”,但它还有

偏压电源偏压电源工作于二级高频变换模式,单极脉冲方式输出。电源的电压调整通过改变高频变换电路的电源电压来实现,调压电路具有1%的稳率。高频变换电路产生10-90%脉冲电压。由于电源的输出电压与脉冲宽度独立调整,在满足工艺所需电压同时,通过改变脉冲宽度来控工件温升。电源适用于各类工具镀膜及装饰镀膜 。

溅射和偏压是两个不同的概念。 在磁控溅射离子镀之中,偏压是指施加在工件上的负电压,用来施加偏压的电源叫做偏压电源。 中频溅射是用来镀膜的,中频溅射靶的电源叫做

电源功率范围

电源为整流二极管(4)的正端与储能电容器(6)、脉冲触发器(2)及交流电源 (1)的一端连接,负端与交流电源(1)和脉冲触发器 (2)的另一端经电容器 (3)连接,负端还与储能电容器

10-80KW

偏压:整体回路中的某个点,测量它相对某个基准点的电压(是整体回路电压的1/n)就称之为该点的偏压,各段电路的偏压之和就是整体回路电压,相应位置的电流就是偏压电流。 一

输入电源

AC380V三相四线制AC50-60HZ±10%

要看它的输出信号和放大电路后面接的输入信号

输出方式

脉冲

输出电压

0-180V 0-500V 0-1000V

同样功率产生的自偏压(仅仅直流自偏压)大, 在芯片的等离子体刻蚀中绝大多数使用电负性气体等离子体,等离子体中有正、负离子。使用400Kz电源产生自偏压时,直流自偏压小

脉冲频率

40KHZ

脉冲百分比

10-90%连续调节

徐重教授专利),实际上是变形的空心阴极放电,可以实现高放电电流工作。 你目前没有获得这种有益效应,可以如下尝试: (1)先启动DC放电并保持偏压电源输出(偏压电源是否对

输出电压稳定率

在该领域,二者精密的调节性能、一流的灭弧功能和较低的存储输出能量使之成为业界领先产品。它们还在射频溅射和蚀刻系统中被用作精密调节的偏压电源。 优势 特点 针对

预前稳压,负载电压10%

镀的是金属类的膜层,还有就是可能灰尘类在腔室累积了,国产偏压电源一般输出阻抗相对偏小。根据我的经验这是三类主要问题吧。 如果有其他朋友解决问题了,希望可以多多

冷却方式

10-40KW风冷 40-80KW水冷

使用直流电源,电子方向始终统一,会导致单一种类电荷堆积过高与控制源中和。也就是说用来提供动力的正负极被中和了。然后磁控溅射将不再继续。所以采用脉冲

使用环境

环境温度 0-40℃

你给变频电源厂家发个配置要求,他们就可以给你做了。一般的电源厂家就可以。

环境湿度 相对湿度≤85%

空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好

冷却水

清洁 不含矿物质及其他可溶性物质

水温 20-30℃

压力 0.15±0.05Mpa

说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整

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